您好, 歡迎來(lái)到環(huán)保在線！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
您好, 歡迎來(lái)到環(huán)保在線！ 登錄| 免費(fèi)注冊(cè)| 產(chǎn)品展廳| 收藏商鋪|
18016281599
當(dāng)前位置：上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司>>烘箱、烤箱>>半導(dǎo)體烘箱>> 圖像翻轉(zhuǎn)烘箱，光刻圖形反轉(zhuǎn)設(shè)備
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌雋思
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時(shí)間：2024-10-09 11:36:14瀏覽次數(shù)：187次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線
圖像翻轉(zhuǎn)烘箱，光刻圖形反轉(zhuǎn)設(shè)備
| 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|
圖像翻轉(zhuǎn)烘箱，光刻圖形反轉(zhuǎn)設(shè)備工藝原理：
光刻圖形反轉(zhuǎn)是一種特殊的工藝，用于制作?半導(dǎo)體器件。在曝光結(jié)束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區(qū)域在顯影后會(huì)形成孔洞而不是島區(qū)。這種工藝主要用于制作孔洞結(jié)構(gòu)，通過(guò)改變曝光區(qū)域和非曝光區(qū)域的相對(duì)分解率來(lái)實(shí)現(xiàn)。
圖像翻轉(zhuǎn)烘箱，光刻圖形反轉(zhuǎn)設(shè)備的應(yīng)用：
光刻圖形反轉(zhuǎn)工藝主要用于剝離過(guò)程，特別是在柔性電極、電極的制作以及其他一些MEMS器件工藝中。通過(guò)底切側(cè)壁形態(tài)，可以防止沉積的材料在光刻膠邊緣和側(cè)壁上形成連續(xù)薄膜，有助于獲得干凈的剝離光刻膠結(jié)構(gòu)。
光刻圖形反轉(zhuǎn)設(shè)備的性能：
尺寸(可定制) | 內(nèi)腔尺寸:450寬×450深×450高(mm)，外形尺寸:760×750×1500 (mm) |
材質(zhì) | 內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑 |
溫度范圍 | RT+50-250℃ |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度波動(dòng)度 | ≤±1℃ |
操作模式 | 人機(jī)界面 |
升溫速率 | ≤5℃/min |
氣體 | 2路供氣 |
真空度 | 0.1~100KPa |
電源及總功率 | AC220V±10% / 50HZ 總功率約2.8KW |
溫度控制器 | 觸摸屏微電腦溫控器，可校準(zhǔn)溫度，PID 自整定等功能 |
擱板層數(shù) | 不銹鋼托盤(pán)2層 |
真空泵 | 渦旋干泵 |
腔門(mén)密封圈 | 采用耐高溫硅橡膠密封圈，密封圈采用一體成型無(wú)縫加工 |
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)保在線對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。
環(huán)保在線