產(chǎn)品特色

●  數(shù)字化產(chǎn)品

●  多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

●  多參數(shù)可控：質(zhì)量流量、體積流量和壓力

●  可選高精度：可優(yōu)于0.5 %

●  可測范圍廣，0.01~99%滿量程

●  滿量程超低壓損為360 Pa

●  閥門響應時間快，優(yōu)于100 ms

●  內(nèi)置98種氣體

●  可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：

質(zhì)量流量普通精度      ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

質(zhì)量流量高精度         ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

重復性                       ±（0.1%   讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移      ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差

                                  ± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移      ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差

                                  ± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

技術(shù)指標

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                  一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測量和控制范圍    0.01～99%

顯示流量    128 %滿量程

可控流量    102.4 % 滿量程

顯  示  屏    帶按鍵背光開關(guān)，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）見上段精度升級部分

                  ±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ±（0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）

質(zhì)量流量溫度漂移    0.03%滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質(zhì)量流量壓力漂移    ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar

響應時間    優(yōu)于100 ms

預熱時間    ＜ 1 s

標定工況    25 ℃ & 1Atm（可現(xiàn)場在測量范圍內(nèi)隨意更改）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力    0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa

操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ± 0.5 %讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@19200波特率；

                         模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓    7 - 30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）

供電電流    250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10^-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、 鋁

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

 *如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢