產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
● 可選高精度:優(yōu)于0.5%
● 可測范圍廣,1~99%滿量程
● 響應時間快,優(yōu)于10 ms
● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體
● 可現(xiàn)場標定混合氣體(最多5種成分),并存儲20種混合氣
● 可適用于諸多腐蝕性氣體
技術指標
介質(zhì)要求 潔凈、干燥的氣體,腐蝕和非腐蝕性均可
介質(zhì)種類 內(nèi)置了130種氣體,請參考背面
一臺設備內(nèi)置所有氣體,用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM()
測量范圍 1~99%滿量程
顯示流量 128 %滿量程
顯 示 屏 帶按鍵,標準為LCD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±(0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)
±(0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程)(可選),僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備
累計流量精度 流量精度之外增加 ± 0.5 % 額外誤差
重 復 性 ± 0.2 %滿量程
零點和量程漂移 0.02% 滿量程 / ℃ / Atm
響應時間 優(yōu)于10 ms
預熱時間 <1 s
標定工況 25 ℃ & 1 Atm(其它標況可調(diào))
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項)
溫度精度 ±0.75℃
工作濕度 0 ~99%,無冷凝
工作壓力 1 MPa 表壓
操作壓力 如果不做真空特殊標定,建議在絕壓80KPaA以上使用; 其他真空壓力建議做特殊標定
進出口壓差 0.5 MPa
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率;
模擬信號:1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU(RS-232/RS-485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差
供電電壓 7-30 VDC (如選4-20 mA輸出,須為15 - 30 VDC )
供電電流 40 mA,80 mA(4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC)
電氣接口 DB9,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項,泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM(Kalrez),可根據(jù)特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA (可選)
*如選Profibus,則無模擬信號,無顯示,其供電電壓及供電電流需來電垂詢