性能

• 可用量程：0-1000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標(biāo)簽）
• 可調(diào)比：200:1（MC系列）
• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
• 可重復(fù)性：0.2%滿量程
• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
• 無需預(yù)熱時間

工作條件

• 兼容氣體：98種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
• 工作溫度：-10°C至+60°C
• 內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：45 psig（60 psia）
• 耐受壓力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包裝清單

• MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
• NIST可溯源校準(zhǔn)證書
• 艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

• 過程端口接頭和過濾器
• 電源
• 通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
• BB3和BB9多點式集線盒
• Flow Vision軟件

型號變體

• 標(biāo)準(zhǔn)配置型號，160 psia（MC系列）
• 高壓應(yīng)用型號：160-320 psia（MCQ系列）

閥門選項

您可以為您的MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預(yù)期過程條件下保持性能。

• MCW系列—選配小型比例控制閥，適用于2 slpm及以下量程
• MCPW系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
• MCHW系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
• MCRW系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于5 slpm及以上流量

結(jié)構(gòu)選項

• 通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
• 工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
• 彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

• 流量累加器
• 集成式電位計控制
• 高精度或自定義校準(zhǔn)

快速泄漏測試

對閥門或傳感器等體積較小的元件進(jìn)行泄漏測試時，將一臺MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)置在壓力控制模式，使其在實時提供準(zhǔn)確的質(zhì)量流量和體積流量讀數(shù)的同時，還能確保被測試裝置保持恒定壓力。按照此種配置方法，僅一臺MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器便能執(zhí)行壓力控制器和質(zhì)量流量計的功能。