艾里卡特LC系列液體流量控制器采用小型比例閥門控制較小液體流量。在2ccm或更小流量下運行的控制器將采用高性能閥門,確保對這類極小的流量實現(xiàn)控制。
LC-0.5CCM-D-PCA11
LC-1CCM-D-PCA12
LC-2CCM-D-PCA13
LC-5CCM-D
LC-10CCM-D
LC-20CCM-D
LC-50CCM-D
LC-100CCM-D
LC-200CCM-D
LC-500CCM-D
艾里卡特LCR系列液體流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite比例閥,控制較高的液體流量。
LCR-1LPM-D
LCR-2LPM-D
LCR-5LPM-D
LCR-10SLPM-D
艾里卡特腐蝕性液體用LCS系列液體流量控制器采用小型比例閥控制較小液體流量。在2ccm或更小流量下運行的控制器將采用高性能PCA閥門,確保對這類極小的流量實現(xiàn)控制。某些腐蝕性液體也可能要求PCA閥門具備316L材質(zhì)流道。
LCS-0.5CCM-D-PCA11
LCS-1CCM-D-PCA12
LCS-2CCM-D-PCA13
LCS-5CCM-D (-PCA13)
LCS-10CCM-D (-PCA14)
LCS-20CCM-D (-PCA14)
LCS-50CCM-D
LCS-100CCM-D
LCS-200CCM-D (-PCA17)
LCS-500CCM-D (-PCA17)
艾里卡特腐蝕性液體專用LCRS系列液體流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,控制較高的液體流量。
LCRS-1LPM-D
LCRS-2LPM-D
LCRS-5LPM-D
LCRS-10SLPM-D