艾里卡特MCDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。
MCDW-0.5SCCM-D
MCDW-1SCCM-D
MCDW-2SCCM-D
MCDW-5SCCM-D
MCDW-10SCCM-D
MCDW-20SCCM-D
MCDW-50SCCM-D
MCDW-100SCCM-D
MCDW-200SCCM-D
MCDW-500SCCM-D
MCDW-1SLPM-D
MCDW-2SLPM-D
艾里卡特MCRDW系列低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門,可選用各種孔徑,實(shí)現(xiàn)對(duì)較大流量的控制,適用于非腐蝕性氣體。
MCRDW-5SLPM-D
MCRDW-10SLPM-D
MCRDW-20SLPM-D
MCRDW-40SLPM-D
MCRDW-50SLPM-D
MCRDW-100SLPM-D
MCRDW-250SLPM-D
MCRDW-500SLPM-D