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當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>測試與輔助工藝設(shè)備>> EVG 150涂膠噴膠勻膠系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG 150是一款大型全自動晶圓涂膠顯影量產(chǎn)設(shè)備，可用于噴膠、旋涂、烘烤、冷卻和顯影，適合大規(guī)模自動化生產(chǎn)。
主要特點及參數(shù)：
·可適用于12寸（300mm）晶圓
·最多可配置6個工藝模組和20個冷/熱板
·超聲霧化技術(shù)使其可以在基板地形條件下完成高均勻性的工作
·采用*技術(shù)減少材料消耗，保證高均勻性
·可選配納米噴涂模塊完成在12寸基板上的1：10垂直深腔涂覆
·烘焙溫度可達250℃
·最多可配置4個FOUP Load ports或Cassette上料裝置
·可搬運厚、超薄、易碎、翹曲晶圓
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