Dimension® Edge ™ 原子力顯微鏡采用,其儀器性能、測(cè)試功能和操作性在同類(lèi)產(chǎn)品中處于。是 Dimension 系列中的閉環(huán)掃描原子力顯微鏡,的傳感器設(shè)計(jì)顯著地降低噪音和漂移,既獲得了閉環(huán)的精度,又具有開(kāi)環(huán)的噪音水平,在大樣品臺(tái)AFM上實(shí)現(xiàn)了小樣品臺(tái)AFM的成像性能。
X-Y 方向掃描范圍 | 90μm x 90μm(典型值),85μm(最小值) |
Z 方向掃描范圍 | 10μm(典型值), 9.5μm(最小值) |
縱向噪音水平 | <50pm RMS 值(在合適的環(huán)境,典型的成像帶寬條件下 ( 可達(dá) 625Hz)) |
XY 方向閉環(huán)噪音水平 | <0.15nm RMS 值(在典型的成像帶寬條件下 ( 可達(dá) 625Hz)) |
XYZ 三方向的非線性 | <0.5%(典型值) |
樣品尺寸和固定方式 | 150mm 直徑,真空吸附,15mm 厚 ; 可選擇墊塊的情況下,可達(dá) 40mm 厚 |
150mm x 150mm 可觀測(cè)區(qū)域; 可真空吸附, 可編程進(jìn)行多區(qū)域掃描,可 360 旋轉(zhuǎn) | |
光學(xué)系統(tǒng)及下針機(jī)制 | 5 百萬(wàn)像素?cái)?shù)字?jǐn)z像頭; 180μm 至 1465μm 可視區(qū)域 ; 數(shù)字化縮放,馬達(dá)驅(qū)動(dòng)聚焦 ,單軸垂直下針,軟件自動(dòng)控制 |
信號(hào)輸入輸出 | 控制器內(nèi)置可配置的信號(hào)輸入 / 輸出 ; 包括可定制的信號(hào)輸入輸出,數(shù)字化反饋和雙數(shù)字化鎖相放大器 |
單點(diǎn)譜線 | 三軸閉環(huán)控制可實(shí)現(xiàn) point-and-shoot 式定位和譜線測(cè)量 ; 內(nèi)置了熱調(diào)諧方式的彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能 ; |
溫度控制 | 可選 -35 至 +250℃加熱 / 冷卻附件; 包括氣體充換功能; |