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Bruker AFM Dimension Edge 顯微鏡

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更新時(shí)間:2023-07-11 09:06:05瀏覽次數(shù):306次

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Bruker AFM Dimension Edge
【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】
 

Dimension® Edge ™ 原子力顯微鏡采用,其儀器性能、測(cè)試功能和操作性在同類(lèi)產(chǎn)品中處于。是 Dimension 系列中的閉環(huán)掃描原子力顯微鏡,的傳感器設(shè)計(jì)顯著地降低噪音和漂移,既獲得了閉環(huán)的精度,又具有開(kāi)環(huán)的噪音水平,在大樣品臺(tái)AFM上實(shí)現(xiàn)了小樣品臺(tái)AFM的成像性能。

 

【主要應(yīng)用】
 
1、 主要用于材料納米級(jí)表面形貌、粗糙度的測(cè)量,同時(shí)還可以測(cè)試納米材料的表面機(jī)械性能、電學(xué)、磁學(xué)和電化學(xué)等物理特性等;
2、 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米材料、通訊、生物學(xué)、數(shù)據(jù)儲(chǔ)存、食品、化學(xué)、地質(zhì)、能源、環(huán)境等領(lǐng)域。
 
【主要參數(shù)】

 

X-Y 方向掃描范圍

90μm x 90μm(典型值),85μm(最小值)

Z 方向掃描范圍

10μm(典型值), 9.5μm(最小值)

縱向噪音水平

<50pm RMS 值(在合適的環(huán)境,典型的成像帶寬條件下 ( 可達(dá) 625Hz))

XY 方向閉環(huán)噪音水平

<0.15nm RMS 值(在典型的成像帶寬條件下 ( 可達(dá) 625Hz))

XYZ 三方向的非線性

<0.5%(典型值)

樣品尺寸和固定方式

150mm 直徑,真空吸附,15mm 厚 ;

可選擇墊塊的情況下,可達(dá) 40mm 厚

150mm x 150mm 可觀測(cè)區(qū)域; 可真空吸附, 可編程進(jìn)行多區(qū)域掃描,可 360 旋轉(zhuǎn)

 

光學(xué)系統(tǒng)及下針機(jī)制

5 百萬(wàn)像素?cái)?shù)字?jǐn)z像頭;

180μm 至 1465μm 可視區(qū)域 ;

數(shù)字化縮放,馬達(dá)驅(qū)動(dòng)聚焦 ,單軸垂直下針,軟件自動(dòng)控制

信號(hào)輸入輸出

控制器內(nèi)置可配置的信號(hào)輸入 / 輸出 ;

包括可定制的信號(hào)輸入輸出,數(shù)字化反饋和雙數(shù)字化鎖相放大器

單點(diǎn)譜線

三軸閉環(huán)控制可實(shí)現(xiàn) point-and-shoot 式定位和譜線測(cè)量 ; 內(nèi)置了熱調(diào)諧方式的彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能 ;

溫度控制

可選 -35 至 +250℃加熱 / 冷卻附件; 包括氣體充換功能;

 

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