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卷對(duì)卷連續(xù)生長(zhǎng)PECVD設(shè)備RTR-III-80-PE

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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

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設(shè)備簡(jiǎn)介：該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長(zhǎng)或者線性材料的連續(xù)的專用設(shè)備

詳細(xì)介紹

設(shè)備簡(jiǎn)介：

該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長(zhǎng)或者線性材料的連續(xù)的專用設(shè)備，此款設(shè)備是快速冷卻卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)CVD連續(xù)生長(zhǎng)爐，它由高溫生長(zhǎng)腔體，三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)，真空機(jī)組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室，收放密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)，可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)

1.加熱系統(tǒng)

溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ80mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。
加熱長(zhǎng)度	200+200+200mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

2、PE系統(tǒng)

功率輸出范圍	0W~500W
反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
功率輸出范圍	0W~500W
反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W

3.三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)	200sccm，500sccm、1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制）
準(zhǔn)確度	±1.5%F.S
線性	±1%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

4、低真空機(jī)組

空氣相對(duì)濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m³/h
極限真空	5X10^-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進(jìn)氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連