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XD Laser™激光干涉儀

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更新時間:2023-02-21 13:45:03瀏覽次數(shù):848次

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產(chǎn)品簡介

API公司是由kam lau博士在自主磚利技術(shù)上基礎(chǔ)之上創(chuàng)立的一家高科技公司。API公司位于美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院NIST附近。API的激光跟蹤儀廣泛應(yīng)用與汽車制造、航空航天、船舶制造、工程安裝、石油制造、風(fēng)電核電等行業(yè)。XD Laser™激光干涉儀是API公司的磚利產(chǎn)品,一次安裝即可以測得六個參數(shù),包括1個位置度誤差,2個直線度誤差和3個角度誤差。通常需要數(shù)天進(jìn)行的測試,使用XD Laser™......

詳細(xì)介紹


XD Laser™激光干涉儀簡介

XD Laser™激光干涉儀體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上,XD Laser™激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器,干涉鏡和6D傳感器組成,從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計數(shù),記錄準(zhǔn)確長度位置,**束光作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得,第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到*小,從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性,測量儀配有自動氣壓,環(huán)境溫度補償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設(shè)計的多重數(shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到*低。


XD Laser™激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:

1. 線性:0.5ppm .

2. 測量范圍:40米(1D可選80米)

3. 線性分辨力:0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. *大范圍:800角秒

6. 滾動角精度:1.0角秒

7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線度*大范圍:500um

9. 垂直度精度:1角秒

10. 溫度精度:0.2攝氏度

11.濕度精度:5%

12.壓力精度:1mmHg

主要特點:

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

2. 設(shè)計用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無線遙控傳感器*長的控制距離可到25米

4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機(jī)床動態(tài)特性。

5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計緊湊、體積小,測量機(jī)床時不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間


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