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更新時(shí)間：2023-02-02 08:30:50瀏覽次數(shù)：241次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡ZXGP-800系列
一、儀器的用途：
ZXGP-800研究級(jí)大平臺(tái)硅片顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅片的觀察。它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng)，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡，在半導(dǎo)體行業(yè)有廣泛應(yīng)用。
大平臺(tái)硅片檢測顯微鏡可以觀察到太陽能電池硅片肉眼難觀測的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格, 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制普通的儀器。
二、系統(tǒng)簡介
大平臺(tái)硅片顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)儀器與計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）通過光電轉(zhuǎn)換器有機(jī)地結(jié)合在一起，能在計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。
三、技術(shù)參數(shù)、
1.目鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 視場（mm） |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（mm） |
無限遠(yuǎn)平場消色差物鏡(明/暗場物鏡） | 4X | 0.1 | 17.80 |
10X | 0.25 | 10.00 | |
20X | 0.40 | 5.10 | |
40X | 0.60 | 2.90 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：40X-400X（選配鏡頭可到1000X）
4.三目頭: 30?傾斜, 可全通光攝影
5.轉(zhuǎn)換器：四孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位
6.載物臺(tái)：三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 300mm×268mm，移動(dòng)范圍250mm×200mm
7.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm
8.落射照明系統(tǒng): 6V 20W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào),
內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,
9.濾色片：黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置
10.*防霉系統(tǒng)
四、系統(tǒng)組成
ZXGP-800型：1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡 5.軟件
五、選購件
1.目鏡： 10X(分劃） 2.物鏡： 50X 60X 100X（干）
3.成像系統(tǒng) 4.專業(yè)軟件
5.配套電腦
1.目鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 視場（mm） |
大視野目鏡 | 10X | Φ22 |
2.物鏡
類 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（mm） |
無限遠(yuǎn)平場消色差物鏡(明/暗場物鏡） | 5X | 0.12 | 8.05 |
10X | 0.25 | 7.86 | |
20X | 0.40 | 7.23 | |
50X | 0.70 | 1.75 | |
80X | 0.80 | 0.80 |
3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X-800X
4.三目頭: 30?傾斜, 可99%通光攝影
5.轉(zhuǎn)換器：五孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位
6.載物臺(tái)：三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 280mmX270mm,移動(dòng)范圍: 204mmX204mm
7.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm
8.落射照明系統(tǒng): 15V 50W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào),
內(nèi)置視場光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,
9.濾色片：黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置
10.*防霉系統(tǒng)
四、系統(tǒng)組成
ZXGP-800型：1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡 5.軟件
五、選購件
1.目鏡： 10X(分劃）
2.物鏡： 40X 60X 100X（干）
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